有底气！中国“芯”：10年进入全球第一梯队

自从第一条生产线于2002年在北京建立以来，SMIC已经踏上了一条没有喘息空间的赛道。

以SMIC为代表的中国芯片行业高端设备和材料正经历着从无到有的飞跃，以填补产业链中的空白。制造过程和包装一体化正从弱变强，以参与国际竞争。在“割头舔血”的艰难追求中，中国集成电路制造水平与国际先进水平的差距从2000年的4、5代缩短到1、2代。

蚀刻机、离子注入机、化学机械抛光机、快速热退火设备...在这些芯片生产线的关键位置上，国产设备所占的席位最终从1%增加到了15%——这是CIMC国产设备在过去七年里交出的成绩单。

SMIC总经理张欣经过严格的统计计算得到数据后，松了一口气，“经过多年的艰苦努力，终于有了结果。”

在SMIC工作多年的老人清楚地记得，10多年前SMIC在北京投产时，从生产线设备到螺母和螺钉等一切都是进口的。当时，集成电路生产线上的刻蚀机、氧化机、薄膜、光刻、离子注入等关键设备一直由欧美和日本的几家公司控制。

投资一条芯片生产线通常要花费数十亿美元。除了建设工厂和基础设施，购买先进设备是生产线投资的主要部分。然而，国内制造商并不掌握先进的生产设备和技术，这意味着“10元和9.8元的投资都花在国外。”

除了“别人吃肉喝汤”之外，芯片生产的核心设备被别人控制的更严重的后果是，整个集成电路产业链的发展进程受到垄断技术和设备的发达国家的制约。

“如果你想购买设备，你必须等一年半，甚至两年。人们必须等待金钱。他们必须首先向美国、日本和韩国的巨头供货。”北华创副董事长耿金琦表示。对于技术更新迅速的芯片行业来说，再等两年意味着芯片产品的技术将至少慢一代。

在巨大的压力下，国产设备进展非常缓慢。“当我刚刚接受征服蚀刻机器本地化的任务时，我甚至没有见过任何一种蚀刻船长。”耿金琦回忆道。

为什么国产设备很难进入芯片生产线？

一些同事用芯片制造设备中的蚀刻机做了一个类比:人们可以在米粒上雕刻200个字符，这是极限，而等离子蚀刻机的加工技术相当于在米粒上雕刻10亿个字符。然而，在另一台更加困难的光刻机中，世界上超过90%的设备被一家荷兰公司垄断。光刻机对精度和其他技术的苛刻要求可以从一个侧面细节来理解:公司的所有光刻机都是由公司的机组人员交付给客户的，机组人员将他们空运到门口，并由人工完成安装和调试。过程中任何粗心的错误都可能影响设备的使用。

2008年，国家科技重大项目02成立，由行业龙头企业SMIC等牵头，组织“产学研”联合开发。，以解决世界先进的28纳米芯片技术节点的关键问题，并促进设备的本地化。北京作为组织牵头单位，向项目承担单位提供资金支持。SMIC、北方微电子、七星华创(北方微电子和七星华创重组为“北方华创”后)，中科信公司和产业链上下游企业联合起来，开始了联合集体研究。

“本地化有1000个原因，非本地化有1000个原因。”对张欣来说，推进本地化进程远比“啃硬骨头”更难。这简直是“舔刀口上的血”。有必要以无法实现良好生产率的巨大运营风险来贯穿和改进流程。

今年，SMIC二期的另一个新工厂将有大量设备进入工厂，并将于明年逐步达到满负荷。满期后，位于北京经济技术开发区的SMIC整条生产线将拥有12万片生产能力，成为全中国生产水平最高、技术最先进、12英寸晶圆规模最大的芯片生产基地。

据悉，SMIC的14纳米芯片计划于2019年上半年在上海投产。目前，14纳米是世界领先企业实现大规模生产的先进技术节点。

“我们与国外最先进水平的差距是一两代技术节点。”北京经济技术开发区投资促进局副局长。“力争10年内进入世界第一梯队”——董事长周近日在内部会议上也透露了未来发展的“小目标”。