真空蒸镀机匮缺：高端显示屏上的阴影

在未来，有机发光二极管(有机发光二极管)是各种终端屏幕的主要材料，可以卷曲和像纸一样薄。有机发光二极管生产过程中最重要的部分是“蒸”，这是极其困难的。

真空蒸发机就像有机发光二极管面板制造过程中的“心脏”。日本佳能Tokki垄断了高端市场，称其过多地控制了有机发光二极管行业。该行业的年度产量预测通常在几个到几十个之间。钱买不到，这就是我的意思。

遗憾的是，目前我国没有生产气相沉积机的企业，我们在这一领域没有发言权。

这种设备就像是有机发光二极管面板生产的“入场券”。

购买佳能东京的设备就像获得了生产有机发光二极管面板的“入场券”。佳能东京在行业中的声誉非常类似于ASML，一个*的光刻企业，像上帝一样存在。

它只有300多名员工，基本上垄断了全球真空蒸发设备的供应。每台机器的报价都超过1亿美元，但仍然很难找到一台机器。排队和其他商品已经成为常态。

据说，BOE第六代柔性有机发光二极管生产线能够提前批量生产的重要前提是从佳能东京获得真空蒸发机。三星对中小型有机发光二极管的生产和供应的垄断也是由于佳能东京的协助。

气相沉积设备的制造商不止一家。为什么很难找到？因为其稳定的大规模生产和成熟的技术优势是无可比拟的。

如果我购买佳能东京设备，我能得到好的产品价格吗？否则。

粤港金桥投资合作伙伴罗浩源告诉《科学日报》:“虽然蒸发设备是有机发光二极管生产的关键环节，但生产线需要实现批量、高质量生产，整个生产链需要科学管理和整合，以确保每个过程可控可靠。然而，没有真空蒸发设备，上述是不可能的。”

佳能Tokki可将蒸发误差控制在5微米以内。

蒸发是有机发光二极管制造过程的关键，直接影响到有机发光二极管的屏幕显示。蒸发机的工作是准确、均匀和可控地将有机发光二极管有机发光材料蒸发到衬底上。

有机材料广泛用于有机发光二极管显示面板，容易受到氧气和水的影响，有机材料也容易受到污染。因此，面板的蒸发通常在真空环境中进行，并且彼此独立。

通过电流加热、电子束轰击加热和激光加热，蒸发的材料蒸发成原子或分子，这些原子或分子以较大的*程线性移动，与衬底表面碰撞并凝结形成薄膜。这个过程是真空蒸发。

“一般来说，有机发光二极管屏幕的每一个像素都是蒸上去的。除了发光材料，金属电极等。也是用这种方式蒸出来的。实际操作非常复杂。

佳能Tokki可将有机发光材料蒸发到基板上的误差控制在5微米以内。这是什么概念？一微米相当于头发直径的1%。”罗浩源说，“没有其他公司的蒸发系统能达到这种精度。"

佳能托克基专注于一个领域超过20年，拥有多项专利。例如，它很早就将机器视觉应用于设备。在生产过程中，很难将玻璃基板和用作像素模板的细金属网对准。佳能Tokki可以通过相机跟踪将误差范围缩小到人类红细胞的大小。

这是一个多维、三维的全面突破

正如中国科学院物理研究所的欧阳中灿教授(中国科学院院士)所说，中国的平板显示器是世界上第一个，但它很大但并不坚固。中国的有机发光二极管企业主要集中在产业链中下游的面板、手机等显示终端产品的应用领域，上游核心生产设备完全依赖进口。

当时，三星从全球40多家蒸发设备制造商中选择了当今最好的佳能Tokki。在有机发光二极管行业的休眠期，当东京面临破产危机时，三星仍然全力支持。这种友谊让三星一次赢得了佳能Tokki的所有产品。

电子创新网络创始人、半导体技术专家张国斌告诉《科学日报》:“尽管没有佳能东京，三星可能无法生存，但三星对工业趋势和技术的判断和掌握值得我们反思。”

罗浩源同意张国斌的观点:“从上到下，作为行业咽喉的核心设备的真空蒸发机，对于是否以及如何推行都非常困惑。中国目前的OLED产业布局和推广模式可以使我们在短时间内形成产业规模，但无法实现高端设备的自主研发和装备能力。如果这个问题得不到解决，更别说真空蒸发机了，其他有机发光二极管设备的突破将是空谈。”

中国电子材料工业协会副秘书长童渊认为，材料或设备不是单一的产品。它涉及到系统的工艺和面板技术。如果配套企业只能在国内更换某一种材料或设备。罗浩源说:“这是一个多维和三维的全面突破。”

有机发光二极管生产的难点在于精密制造，而精密制造的技术障碍在于精密设备。虽然我国大型有机发光二极管生产线设备仍属空白，但有机发光二极管科研蒸发设备已达到国际水平，中试生产设备已研制成功。“尽管距离摆脱‘真空’还有点远，但我们已经上路了。”罗浩源说道。

真空蒸发机等核心设备的缺乏反映了基础研究、精密加工和自动控制等领域的短板问题罗浩源说，“虽然很困难，但一代人有另一代人的任务。我希望我们这一代人能够生产真空蒸发机器。”

(北京，4月25日，《科技日报》)