中科院微电子所与爱发科集团共建联合实验室

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叶与科比纳塔九智签订了合同。

6月14日，中国科学院微电子研究所与日本ULVAC集团联合实验室签约仪式在中国科学院微电子研究所举行。中国科学院微电子研究所所长叶代表事务组与禁止执行局局长柯比娜塔·九芝签署了一项协议。

超真空技术有限公司是一家以真空技术为基础，以创造精细加工技术为目标，广泛应用于各个领域的研发综合性企业。其产品范围从平板显示器、电子半导体、太阳能电池真空设备到标准零件、材料和真空镀膜。目前，已有15家公司在中国成立，它们在中国的投资未来将继续扩大。在能源、环保、交通、医药、食品、化工、生物工程等广泛领域，以电子技术和通信技术为先导，专注于设备生产，提供先进的真空技术产品。

这次成立了联合实验室。双方利用中国科学院微电子研究所拥有的微电子器件相关技术和艾法克集团拥有的真空镀膜设备和工艺技术，围绕发展主题，共同开展微机电系统、存储器、功率器件和传感器等领域的开发，相互配合，争取实际应用。双方一致认为，双方优势互补关系非常强，这是充分发挥各自优势，实现产学研无缝集成，同时满足核心技术研究和产业化需求的最佳途径。双方将建立联合实验室，在资源共享、技术开发、人才交流和培训等领域开展深入合作，支持和促进相关核心技术的研究和积累。联合实验室将成为双方合作的窗口和新技术科研成果的实验基地。

联合实验室将使用超真空制造的SME-200溅射设备进行微电子工艺开发。ULVAC SME-200设备是一种多功能溅射设备，可携带多达八个室，并可在8英寸硅衬底上沉积先进材料，如金属、氧化物、氮化物薄膜等，用于研发和少量生产目的。该设备可实现全自动运输、自动数据存储、过程结果稳定等功能。通过使用该设备，双方将在微机电系统、存储器、功率器件和传感器领域开展技术研发合作。

联合实验室的建立体现了事务集团大力推进本地化产业的战略方针。此次联合实验将与中国科学院微电子研究所合作，针对中国正在发展的电子半导体产业，提升其研发实力，加快尖端技术产业化，实施产学研结合的人才和科技创新双轮驱动战略，为国内半导体企业提供技术支持和工艺验证平台。(科学新闻)

《中国科学报》(第五版《创新周刊》，2017年6月19日)