我国建造出了世界上最大的纳米真空互联实验站

世界上第一个集材料生长、器件制造和测试分析于一体的科学仪器——纳米真空互联综合实验站正在江苏省苏州工业园区建设。这个实验站相当于在太空建立一个全真空纳米器件研发平台。

正在建设的纳米实验站是目前世界上最大的真空互联科研装置。总体方案是将数百台用于材料生长、器件制备、测试和分析的大型仪器设备与一条总长度近500米的超高真空管道互联，实现样品在不同设备之间转移时，样品表面不会被外部大气环境氧化、污染或损坏。中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所研究员、纳米真空互连实验站常务副主任丁肃南表示，该实验站通过超高空分辨率、时间分辨率、能量分辨率、质量分辨率等高端性能仪器对材料的“内在特性”进行研究，从而实现量子材料的设计、制备和表征，后摩尔时代器件的加工和测试分析，新材料、新工艺、新结构和新功能的开发和研究，以及第三代半导体技术封装的形成。

“该实验装置是一个在类似太空的全真空环境中的纳米器件研发平台，相当于将现有加工设备转移到太空。”丁顺安说道。

纳米真空互连实验站由中国科学院苏州纳米科学研究所与清华大学薛其昆院士团队和中国科学院大连化学物理研究所鲍新河院士团队合作建设。一期工程由中国科学院、江苏省、苏州市和苏州工业园区共同建设。预计2018年竣工，建设资金为3.2亿元。第一阶段完成后，将连接30多套设备，形成一条100米的真空管道。整个实验站的总预算是15亿元。

苏州工业园区是世界纳米领域八大代表性工业区之一。中国科学院纳米技术研究所所长杨辉表示，在这里建设纳米真空互联实验站，是为了突破现有仪器设备的功能局限，通过真空条件下的互联集成和几个重大项目的验证，实现材料制备、测试分析和微纳加工技术的协同效应，为科学研究和战略性新兴产业发展提供一个先进开放的平台。