浙江晶盛机电股份有限公司

浙江晶盛机电股份有限公司（简称：晶盛机电）系由成立于2006年12月14日的上虞晶盛机电工程有限公司以整体变更方式设立的股份有限公司，2010年12月14日在绍兴市工商局登记注册，公司于2012年5月11日，在深圳证券交易所创业板A股上市。公司是国内领先、国际先进的高端半导体硅材料、光伏硅材料、LED检测与照明等高端智能化装备和蓝宝石晶体材料供应商。

中文全称：浙江晶盛机电股份有限公司

中文简称：晶盛机电

外文名称：ZhejiangJingshengMechanical&ElectricalCo.,Ltd.

组织形式：民营企业

所属行业：设备制造

法定代表人：邱敏秀

上市日期：2012-05-11

成立日期：2006-12-14

注册资本：88,011万元

办公地址：浙江省绍兴市上虞区通江西路

1、公司简介

公司标识

浙江晶盛机电股份有限公司位于浙江省绍兴市上虞区通江西路，是一家以“新材料、新装备”为战略发展目标，始终坚持“开拓创新、共铸辉煌”发展理念的高新技术企业。

公司注册资本88,011万元，属下有三家全资子公司和四家控股子公司。公司还拥有先进的、较齐全的机械加工与检测设备，拥有五个厂区占地465亩土地和20万平方米的厂房、辅助用房、研发中心与办公楼，为后续的新产品、新产业布局留有相应的空间拓展余地。

2、业务领域

公司形象展示

目前公司自主研制的装备产品有：全自动单晶硅生长炉、多晶硅铸锭炉、区熔硅单晶炉、蓝宝石晶体炉、单晶硅棒切磨复合加工一体机、金刚线晶棒截断机、多晶块单线截断机、生产车间的远程监控智能化信息化管理系统、LED芯片自动检测、封装、贴片、包装以及灯具全自动生产线等系列高端装备。产品分别应用于光伏、半导体、IGBT功率器件、LED光电子以及蓝宝石窗口材料等领域。公司晶体生长设备产品已在有研半导体、天津环欧、*合晶、金瑞泓等知名半导体企业和中环股份、天合光能、晶科、南玻集团、英利能源、*新能源、保利协鑫、隆基、西安有色等大型光伏企业中广泛使用，卓越的产品性能和专业的技术服务赢得了客户充分信赖，国内高端市场占有率第一。

在LED照明及智能穿戴用的蓝宝石新材料领域，公司在内蒙古建设年产2500万mm蓝宝石晶棒的生长基地，一期已开始量产，二期进入建设；在上虞建设年产1200万片蓝宝石晶片切磨抛项目一期已投产。在杭州布局了LED芯片自动检测、封装、贴片、包装以及灯具全自动生产线的自动化装备制造基地，通过蓝宝石晶体生长设备、晶体生长以及晶片切磨抛、LED芯片检测及生产装备等产业链的贯通，力求打造蓝宝石晶体材料产业中领先企业。

3、技术特色

一、与全自动单晶硅生长炉有关的特色技术

水冷夹套装置

1、单晶硅生长全自动控制技术

公司研制的全自动单晶硅生长炉控制系统实现了从抽真空、检漏、压力化、熔料、稳定、熔接、引晶、放肩、转肩、等径、收尾、停炉等12道工序的全过程自动控制。

2、双CCD直径控制系统和熔体液面位置控制技术

采用双CCD，结合非完整图像识别测量技术，分别对小直径的引晶及大直径的等径进行精确测量，使单晶棒等径误差≤±1mm/m，达到国际同类产品的先进水平。利用CCD系统捕捉的图像信号，计算熔体液面位置，并调节坩埚升降速度，最终将液面位置控制在设定高度：实现坩埚速度的自动调节，将液面位置偏差控制在±0.2mm以内。

3、水冷夹套技术

可使单晶炉在不需要停炉的情况下进行再次外部加料，改变了传统的单晶生长炉单炉只可以生长一根单晶棒的生产工艺，实现了单炉可连续生长2～5根单晶棒，节省了停炉冷却、清炉、装料、抽真空、化料等步骤所需的时间，提高了石英坩埚的利用率。实现了大幅提高生产效率、降低能耗和进一步降低非硅成本的技术优势。

4、大直径单晶炉勾型电磁场装置

针对大尺寸集成电路级单晶炉，研发了勾型电磁场，可有效抑制硅熔体内的对流，减少熔体对石英坩埚内壁的冲刷，以降低硅单晶棒的氧含量和提高径向分布均匀性。

5、全自动单晶炉机械特色

（1）采用国内首创、独特的副炉室与炉盖自动旋转机构，在副炉室与炉盖提升到位时旋开、旋闭，实现取单晶棒过程的自动化操作。

（2）经过严格的静平衡和动平衡测试的提拉头，在25～30rpm高速旋转下籽晶晃动小于2mm，可满足半导体硅单晶生长工艺的要求。

二、与多晶硅铸锭炉产品核心技术

连续投料器现场应用照片

1、多晶硅垂直定向生长随动隔热环结构技术

由保温材料固化毡组成的隔热环固定于隔热笼体内，隔热环可与隔热笼体随动，改善固液交界面形状，提高晶体质量，降低能耗。

2、多晶硅铸锭炉控制系统软件及技术

多晶硅铸锭生长过程耗时长，无法人工干预，因此，要求控制系统能实现生长全过程的全自动控制。采用可编程逻辑控制器（PLC）作为核心控制单元，并配置组态软件控制的人机交互界面，操作简易，可预置工艺控制参数，可实时完成工艺编写；多项安全性检测和报警以及自动断电保护功能，保障设备使用安全；实现全程自动化控制。

3、顶侧分开控制的多晶硅铸锭炉加热装置技术

针对顶部加侧面的五面加热方式，双电源可对顶部和侧面加热器进行独立控制，使得多晶硅在结晶过程中形成一个垂直的温度梯度，确保了生长界面的平坦，有利于改善后期铸锭质量和提高成品率。可缩短铸锭周期3～5小时，每炉可降低能耗300～400kwh。

4、气冷式多晶硅铸锭炉新型闭式冷却系统技术

通过利用热交换台、换热器、泵组、变频器等组成冷却气体的闭合气路，以流动气体对热交换台进行直接冷却，实现热交换台主动温度控制；相比辐射降温的被动方法，使热交换台整体温度均匀，有利于坩埚底部硅熔体的均匀成核、缩短长晶时间和降低能耗，并可明显提高硅片的光电转换效率。气致冷多晶硅铸锭炉可以为类单晶和高效多晶硅工艺提供良好的设备技术条件。

4、科研成果

浙江晶盛机电股份有限公司

以教授、博士、硕士为核心的、实力雄厚的技术研发与管理团队和一支技术熟练的工人技术队伍，立足“提高光电转化效率、降低生长成本”的光伏技术路线，通过对高效N型单晶，高效多晶铸锭方面的研究不断获得技术突破。相继研发成功的水冷夹套技术、连续加料装置、双电源独立控制、气致冷装置、全自动半熔法高效铸锭等多项国内外首创技术，实现了硅晶体生长“全自动、高性能、高效率、低能耗”的国内领先、国际先进的技术优势。半导体级单晶硅生长炉、光伏级单晶硅生长炉、高效多晶硅铸锭炉等产品多年来一直占据国内高端市场领导地位。全自动晶体生长炉系列产品和JSH800型气致冷多晶硅铸锭炉产品分别被国家科技部等四部委评为国家重点新产品。产品创新技术已获授权国家专利125项，其中发明专利15项；32项控制软件已获国家软件著作权；单晶生长炉关键技术成果荣获2009年度浙江省科学技术一等奖。“超高速SMDLED全自动分光分色分拣设备”获得2012年度浙江省优秀新产品新技术三等奖。公司承担的国家科技重大专项“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”项目的“300mm硅单晶直拉生长装备的开发”和“8英寸区熔硅单晶炉国产设备研制”两项课题，现已进入工业化阶段。

5、主要股东

6、利润表

7、发展目标

浙江晶盛机电股份有限公司

未来三年公司将专注于晶体硅太阳能光伏材料、半导体材料制备设备的研发和生产、LED及消费电子行业的蓝宝石材料设备和材料的研发和生产，巩固在全自动直拉式单晶硅生长炉、多晶硅铸锭炉以及区熔硅单晶炉等产品领域的技术领先优势和产品竞争优势，进一步提升公司产品在国内市场的占有率和市场影响力。

公司将沿着光伏产业、半导体集成电路行业、LED及消费电子行业三个产业链路线，不断开发基于工业4.0背景下的智能化装备，使公司成为这三个行业产业链上的高端设备供应商。

为了能快速实现上述目标，公司将利用资本市场的平台，进一步拓展公司在上述三个产业链上的产品深度和广度，并且，积极寻找具有广阔市场前景的新兴行业，使公司能找到新的利润增长点。

随着移动互联网的快速发展，工业企业模式变革将进入工业4.0时代，智能生产—通过信息物理系统(Cyber-physicalSystem，CPS)的应用，使生产设备获得智能，使工厂成为“智能工厂”，目标是建立一个高度灵活的个性化和数字化的产品与服务的生产模式。公司也将进一步研发自己的智能产品服务体系，使公司能成功地从装备供应商转型为基于工业4.0背景下的智能化装备服务提供商。