王曦：领航高端硅基产业蓝海

达蒙(左)在实验室进行科学研究。

达蒙是中国科学院院士，中国著名半导体材料专家，中国科学院上海微系统与信息技术研究所所长，中国高端集成电路衬底材料的主要开拓者和领导者。3月23日，他在上海科技奖大会上获得了2017年科技英雄奖。

记者何晶，我们的记者黄鑫

在中国，当谈到高端硅基SOI材料的研发和产业化时，业内人士都会提到一个名字——达蒙。

达蒙是中国科学院院士，中国著名半导体材料专家，中国科学院上海微系统与信息技术研究所所长，中国高端集成电路衬底材料的主要开拓者和领导者。

3月23日，这位52岁的老人在上海科技奖大会上获得了2017年科技成就奖。

启航:工业化必须先行

中国的核心SOI技术

1996年，毕业后，达蒙去了欧洲最大的离子束材料研究基地——罗森多夫研究中心做访问学者。1997年，中国科学院开展了一项知识创新项目。时任中国科学院上海微系统研究所所长的蒋冕亨通过德国来到他身边，希望他能回到中国发展。尽管距离达蒙的“洪堡”访问学者研究结束还有一年时间，但他急于回国，婉言谢绝了德国研究所所长的一再挽留，并于1998年6月回到中国。

达蒙回到中国后不久，国际商用机器公司宣布将21世纪国际公认的新微电子材料SOI应用于处理器芯片的生产，这导致了一批著名的半导体跨国公司对这一技术的开发。绝缘体上硅是绝缘体上硅的简称，中文翻译为绝缘体上硅。国际公认，SOI在低压、低功耗电路、耐高温电路、微机械传感器、光电集成等方面具有重要的应用价值。

达蒙意识到，加强SOI技术在中国的应用研究，实现产业化进程迫在眉睫。33岁的达蒙毅然肩负重任，带领科研团队，专注于SOI材料制备的关键技术——“离子注入”。为了尽快赶上国际先进水平，他在实验室里夜以继日地工作。这场斗争迎来了黎明。2000年，离子束原位掺杂技术取得了重要进展，相关论文引起了国际同行的极大关注。

达蒙说，基础研究科学家应该关心国家的工业需求，将研究与国家的战略需求结合起来。他也这么做了。令达蒙和他的团队感到自豪的是，通过技术创新和研发，解决了中国航天电子器件急需的SOI产品的“存在”问题，为中国特殊领域核心器件的自主控制做出了突出贡献。

多年来，达蒙致力于研究高能离子束和固体之间的相互作用以及工业转移的平行转化。他在国际学术期刊和会议上发表了400多篇论文，申请了160多项发明专利。他还获得了何李基金科技进步奖、中国科学院优秀科技成果奖(第一名)、上海市科技进步奖(第一名)等奖项，以及上海市领军人才和国家创新高峰奖等称号。

引航:新一代硅基材料的成功实现

SOI技术成果的产业化

如果说1998-2001年是SOI走出实验室的关键时期，那么从2001年开始，SOI正式面向国民经济的主战场，开始“试水”。

2001年7月，为了将科学研究技术应用于高端集成电路衬底材料的SOI开发，达蒙推动中国科学院上海微系统研究所孵化成立上海鑫诺科技有限公司，他与SOI研究组的5名医生一起加入公司，科学家达蒙成为董事长兼首席执行官。

经过不懈努力，研究团队开发了超低剂量SOI技术，创造了具有自主知识产权的氧注入键合Simbond-SOI技术。达蒙坦率地说，当他和他的团队经过数不清的日日夜夜的战斗，生产出抛光且晶莹剔透的“三明治”硅片时，每个人的快乐和兴奋都无法用语言来表达。

然而，光有技术来运营和管理一个企业是远远不够的。融资、设备引进、技术突破和市场开发都比预期困难。达蒙说，在每个环节中遇到的波折足以让人放弃，直到经过100多轮融资才宣布。

凭借毅力和信念，达蒙和他的团队在同一条船上并肩作战，经受住了一次又一次的风暴。人们划船，最终实现了SOI材料的产业化，填补了国内空白。中国制造的硅片出口西方发达国家，成功实现了中国微电子材料的跨越式发展。

不出所料，“高端硅基SOI材料的研发与产业化”获得了2006年国家科技进步奖一等奖。上海新奥科技有限公司也因其8英寸SOI材料的成功产业化而成为中国唯一的SOI材料研发和生产基地。

2014年，上海新奥科技有限公司与全球最大的SOI制造商Soitec签署合作协议，巩固了双方的战略伙伴关系，确立了中国企业的国际地位。达蒙仍然记得当他开始他的生意时，他在法国的索伊特克门口徘徊，只能和看门人说话。出乎意料的是，许多年后，我能够平等地和我祖国的这个行业巨头握手。

中国科学院上海微系统研究所所长助理、新伟集团总经理习覃告诉记者，达蒙作为企业领导者，具有很强的创新意识，不仅体现在技术上，还体现在制度和机制创新上。他推动风险投资基金的建立，并没有干涉投资专家的判断。他认为专业人士比科学家更熟悉资本市场。

不过，该公司执行副总裁李伟认为，达蒙对硅材料的国际市场有着敏锐的观察。他的投资决策和勇气更令人钦佩。根据他的决定，该公司成功投资了两项国际收购。

目前，王茜正带领他的团队继续走工业化道路。达蒙在上海大力推进多个大型半导体项目，并积极布局材料、制造和设计的综合布局，以发展中国12英寸芯片制造和集成电路产业，实现中国“在角落里超车”的战略计划。启动了中国最大的12英寸硅片制造公司上海新生半导体有限公司的成立，2017年成功拉出中国第一根高质量的12英寸单晶硅棒，销售近10万片12英寸硅片，填补了中国大尺寸硅片行业的空白。

重要任务:张江实验室

斗争的发展

王茜有许多不同的身份，其中之一是由中国科学院和上海市人民*共同建立的张江实验室的主任。

达蒙表示，2017年9月26日，张江实验室正式成立，开启了上海科技中心建设的新篇章。短短四个多月，张江实验室的各项工作取得了全面、实质性的阶段性进展。上海超强超短激光实验装置去年实现10拍瓦特放大输出，被评为“十八大以来中国科学院20项标志性重大科技成果输出”。硬X射线*电子激光装置项目的建立是迄今为止中国主要科技基础设施的最大投资。这些重大基础设施和重大创新为张江实验室的建设和发展奠定了坚实的基础。

他希望通过自己的努力，帮助上海建设一个具有全球影响力的科技创新平台，以更加开放的姿态聚集各方精英，实现科技创新对国家发展的战略支撑。

中国科学报(第六版，2018-04-02)

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