场发射枪扫描电子显微镜实现国产化

日前，国家重大科学仪器设备开发项目“场发射扫描电子显微镜的开发与应用”在北京获得科技部批准，标志着高端科学仪器在纳米研究领域的本土化。

该项目由中国科学院下属的北京中科仪有限公司开发。在项目综合技术验收会上，科技部验收专家组听取了项目竣工报告，观看了项目视频，并听取了异地测试报告。参加会议的专家组成员认为，项目如期完成了任务书规定的项目目标和各项评估指标，两个产品相继形成并交付。专家组高度评价项目的完成，一致同意通过验收。

该项目突破了高分辨率电子光学成像系统设计、场发射枪工程设计制造、电子束加速镜筒设计制造等多项关键技术，成功开发出具有自主知识产权的肖特基场发射枪扫描电子显微镜。分辨率指标分别达到和超过1kV纳米和30kV纳米，达到国际一流水平。

中国科学技术研究院院长、项目经理张永明表示，该项目促进了中国电子光学仪器行业的发展，将中国扫描电子显微镜的发展水平提高到了一个新的水平，有效解决了目前的“瓶颈”问题，打破了国外产品的垄断。“该项目对促进和提高中国前沿科学研究、重大项目和战略性新兴产业高端设备的本地化和自主性具有积极意义。”

据了解，场发射枪扫描电子显微镜是纳米技术研究不可或缺的工具，为尖端科学研究提供重要支持，提高高端科学仪器的发展水平，促进精密制造业的发展，满足半导体技术、生命科学、环保等领域的迫切需求。